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Unité d'enseignement : Micro-capteurs

» Master Sciences et Génie des Matériaux » Parcours Matériaux, Contrôle et Sécurité

Crédits ECTS : 2
Volume horaire : 20 Heures

Langue d'enseignement Français

- Connaissance de l’intérêt des micro/nanotechnologies (salle blanche, production de masse, possibilité d’intégration hétérogène avec la microélectronique, …) - Connaissance et mise en œuvre des procédés microtechnologiques de base - Techniques de gravure, lithographie optique et électronique - Conception et structuration - Application des capteurs micro-usinés (CND,…) - Intégration hétérogéne microcapteurs/microélectronique

Activités

DescriptionVolume Horaire
Cours Magistraux

10.0

Travaux Dirigés

10.0