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Unité d'enseignement : MICROSYSTEMES

» Master Sciences et Génie des Matériaux » Parcours Matériaux, Contrôle et Sécurité

Crédits ECTS : 4
Volume horaire : 40 Heures

Langue d'enseignement Français

EC Couches minces et nanomatériaux  : - Connaissance générale sur les couches minces - Connaissance des techniques de réalisation de couches de matériaux actifs dédiés aux micro-capteurs (pulvérisation cathodique, sol gel,…) - Connaissances des matériaux utilisés EC Micro-capteurs : - Connaissance de l’intérêt des micro/nanotechnologies (salle blanche, production de masse, possibilité d’intégration hétérogène avec la microélectronique, …) - Connaissance et mise en œuvre des procédés microtechnologiques de base - Techniques de gravure, lithographie optique et électronique - Conception et structuration - Application des capteurs micro-usinés (CND,…) - Intégration hétérogéne microcapteurs/microélectronique

Crédits ECTSVolume horaire
Couches minces et nanomatériaux

- Connaissance générale sur les couches minces - Connaissance des techniques de réalisation de couches de matériaux actifs dédiés aux micro-capteurs (pulvérisation cathodique, sol gel,…) - Connaissances des matériaux utilisés

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    Micro-capteurs

    - Connaissance de l’intérêt des micro/nanotechnologies (salle blanche, production de masse, possibilité d’intégration hétérogène avec la microélectronique, …) - Connaissance et mise en œuvre des procédés microtechnologiques de base - Techniques de gravure, lithographie optique et électronique - Conception et structuration - Application des capteurs micro-usinés (CND,…) - Intégration hétérogéne microcapteurs/microélectronique

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      2 20 HeuresImprimer

      Compétences et savoirs enseignés

      Les étudiants aborderont le concept de salle blanche puis de micro et nanotechnologie. Ils étudieront les procédés de base utilisés en microtechnologie, ainsi que les méthodes pour la conception, la fabrication et la caractérisation des Microsystèmes et plus particulièrement des micro-capteurs. Les microtechnologies, initialement mises en oeuvre pour la microélectronique sont maintenant largement adaptées à la réalisation de MEMS (Micro Electro Mechanical Systems), elles permettent de concevoir des capteurs de plus en plus miniaturisés ayant des dimensions caractéristiques micrométriques voire nanométriques. Ces capteurs pourront être associés en réseau pour l’imagerie ou le contrôle non destructif. Les ingénieurs formés seront à même de concevoir des systèmes intégrant des capteurs fabriqués en utilisant ces microtechnologies. Ils disposeront pour cela de compétences dans le domaine des technologies microsystèmes nécessaires à la fabrication de ces capteurs. Cela comprend des compétences dans des domaines techniques et scientifiques qui couvrent des champs de connaissances en physique, en électronique et en microélectronique

      Pré-requis obligatoires

      Physique Générale

      Activités

      DescriptionVolume Horaire
      Cours Magistraux

      20.0

      Travaux Dirigés

      20.0